1.什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？

     大家可能会经常看到，有些地方说质量流量计，有些地方说质量流量控制器。其实，这是有区别的。

      质量流量计，即Mass Flow Meter（MFM ）， 是一种******测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。

      质量流量控制器， 即Mass Flow Controller （MFC ），不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

      简单来说，质量流量计只测量不控制。而质量流量控制器，则带有控制阀门，既可以测量也可以控制气体流量大小。

2.怎么理解质量流量计 / 质量流量控制器的流量单位？

      气体质量流量单位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分钟标准毫升）和SLM（Standard Liter per Minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之处。      

      对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位 时间内流过介质的质量（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数，可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干SLM）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。